Buefordamping
Arc fordampning eller Arc-PVD (også arc fordampning , fra engelsk arc , arc ') er en beleggmetode fra gruppen av fysisk dampavsetning (PVD), nærmere bestemt en fordampningsmetode .
I denne prosessen brenner en bue mellom kammeret og målet, noe som har negativt potensial . B. på et arbeidsemne ( underlaget ) som skal påføres målmaterialet smelter og fordamper. Målet fungerer som en katode, veggen til vakuumkammeret eller en definert elektrode fungerer som en anode. En stor del (opptil 90%) av det fordampede materialet er ionisert . Materialdampen (målmateriale) sprer seg radialt fra målet , i likhet med termisk fordampning . Siden et negativt potensial også påføres substratet, akselereres det ioniserte materialdampen også mot substratet. Det materiale dampen kondenserer på substratets overflate . På grunn av den høye andelen av ionisering, kan høy kinetisk energi innføres i metalldampen gjennom tilsvarende spenninger på substratet og målet, slik at en mer eller mindre sterk forstøvningseffekt kan oppnås på substratet . Dette brukes blant annet for å påvirke egenskapene (lagadhesjon, tetthet, sammensetning, etc.) av det avsatte laget.
litteratur
- Donald M. Mattox: Handbook of Physical Vapor Deposition (PVD) Processing: Film Formation, Adhesion, Surface Preparation and Contamination Control . Noyes Pubn, 1998, ISBN 0-8155-1422-0 .
- André Anders: Katodiske buer - Fra fraktale flekker til energisk kondens . Springer, 2008, ISBN 978-0-387-79107-4 .
- André Anders: Utviklingen av ioneladningstilstander i katodisk vakuumbue-plasma: en gjennomgang . I: Plasma Sources Science and Technology . teip 21 , nei. 3 , 1. juni 2012, s. 035014 , doi : 10.1088 / 0963-0252 / 21/3/035014 ( utkastversjon ).
Individuelle bevis
- ↑ W. König, R. Fritsch, O. Knotek, G. Krämer: Arc-PVD belegg av harde metaller og analyse av den funksjonelle oppførsel under maskinering i den avbrutte snitt . I: Materialvitenskap og teknologi . teip 24 , nei. 3–4 , 2004, s. 131–141 , doi : 10.1002 / mawe.19930240312 .